潔凈室中的注意事項(xiàng)
發(fā)表時(shí)間: 2020-06-24
在一定空間范圍內(nèi),將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間,不論外在空氣條件如何變化,室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。
濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)最佳溫度范圍為35—45%。
潔凈室中的氣壓規(guī)定
對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
潔凈室中的氣流速度規(guī)定
這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說(shuō)明。
對(duì)于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;
(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。
(2)吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過(guò)去都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。
在我國(guó),《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s
水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s
研究表明以上規(guī)定基本上滿足控制污染的要求,但認(rèn)為應(yīng)區(qū)別不同情況分出不同的檔別,更能體現(xiàn)節(jié)能的目的。
潔凈室中的噪聲控制
這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說(shuō)明。
對(duì)于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;
(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。
(2)吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過(guò)去都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。
在我國(guó),《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s
水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s
研究表明以上規(guī)定基本上滿足控制污染的要求,但認(rèn)為應(yīng)區(qū)別不同情況分出不同的檔別,更能體現(xiàn)節(jié)能的目的。
潔凈室中的噪聲控制
潔凈室一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn),目的在于保障操作正常進(jìn)行,滿足必要的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是:噪聲標(biāo)準(zhǔn)
1.煩惱的效應(yīng)
由于噪聲,使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個(gè)煩惱等級(jí)。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。
2.對(duì)工作效率的影響
這主要看三方面的反應(yīng)水平,這三個(gè)方面是:集中精神,動(dòng)作準(zhǔn)確性,工作速度;
3.對(duì)綜合通訊的干擾
這主要分為:清楚或滿意,稍困難,困難,不可能
對(duì)以上三方面指標(biāo)都用A聲級(jí)來(lái)評(píng)價(jià)。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級(jí)不得超過(guò)該曲線。后來(lái)了解到刷A等級(jí)來(lái)計(jì)量噪聲與噪聲的語(yǔ)音干擾和煩惱程度更為臺(tái)適,可以代替倍頻帶聲壓級(jí)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)的指標(biāo)。
根據(jù)中國(guó)建筑科學(xué)研究院建筑物理研究所1981年為編制《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》而進(jìn)行的測(cè)定資料,在65dB(A)以下時(shí),只有30%的人感到高煩惱。在65—70dB(A)時(shí),其影響對(duì)工作效率的三方面反應(yīng)表現(xiàn)出較低水平;在60dB(A)以下說(shuō)話清楚滿意.60~75dB(A)時(shí)有一定困難,犬于75dB很困難。因此認(rèn)為潔凈室噪聲水平以65d)為宜,此時(shí)可使高煩惱率小于30%;保證一般通話;對(duì)工作效率影響很小
1.煩惱的效應(yīng)
由于噪聲,使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個(gè)煩惱等級(jí)。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。
2.對(duì)工作效率的影響
這主要看三方面的反應(yīng)水平,這三個(gè)方面是:集中精神,動(dòng)作準(zhǔn)確性,工作速度;
3.對(duì)綜合通訊的干擾
這主要分為:清楚或滿意,稍困難,困難,不可能
對(duì)以上三方面指標(biāo)都用A聲級(jí)來(lái)評(píng)價(jià)。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級(jí)不得超過(guò)該曲線。后來(lái)了解到刷A等級(jí)來(lái)計(jì)量噪聲與噪聲的語(yǔ)音干擾和煩惱程度更為臺(tái)適,可以代替倍頻帶聲壓級(jí)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)的指標(biāo)。
根據(jù)中國(guó)建筑科學(xué)研究院建筑物理研究所1981年為編制《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》而進(jìn)行的測(cè)定資料,在65dB(A)以下時(shí),只有30%的人感到高煩惱。在65—70dB(A)時(shí),其影響對(duì)工作效率的三方面反應(yīng)表現(xiàn)出較低水平;在60dB(A)以下說(shuō)話清楚滿意.60~75dB(A)時(shí)有一定困難,犬于75dB很困難。因此認(rèn)為潔凈室噪聲水平以65d)為宜,此時(shí)可使高煩惱率小于30%;保證一般通話;對(duì)工作效率影響很小
潔凈室的照度控制。
由于潔凈室內(nèi)的工作內(nèi)容大都有精細(xì)的要求,而且又都是密閉性房屋,所以對(duì)照明一向有很高的要求。這里有必要先說(shuō)明一下無(wú)窗潔凈室的照明方式:
(1)一般照明
(1)一般照明
它指不考慮特殊的局部需要,為照亮整個(gè)被照面積而設(shè)置的照明。
(2)局部照明
這是指為增加某一指定地點(diǎn)(如工作點(diǎn))的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨(dú)使用局部照明。
(3)混合照明
這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%,但不低干150LX。單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。
國(guó)外潔凈室的強(qiáng)度要求極高,例如美國(guó)關(guān)于潔凈室的幾個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的要求是:
100級(jí): 1080-16001x
10000級(jí): >lOOOlx
100000級(jí): >1000LX
人工光300lx有較好的效果,當(dāng)工件精細(xì)程度更高時(shí),500x也是允許的。對(duì)于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車間,其照度一般為25—501x)。
用天然光時(shí)可允許更高的照度,因而對(duì)工作是有利的,所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動(dòng)向。
(2)局部照明
這是指為增加某一指定地點(diǎn)(如工作點(diǎn))的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨(dú)使用局部照明。
(3)混合照明
這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%,但不低干150LX。單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。
國(guó)外潔凈室的強(qiáng)度要求極高,例如美國(guó)關(guān)于潔凈室的幾個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的要求是:
100級(jí): 1080-16001x
10000級(jí): >lOOOlx
100000級(jí): >1000LX
人工光300lx有較好的效果,當(dāng)工件精細(xì)程度更高時(shí),500x也是允許的。對(duì)于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車間,其照度一般為25—501x)。
用天然光時(shí)可允許更高的照度,因而對(duì)工作是有利的,所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動(dòng)向。
潔凈室中的防靜電
潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。
所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(fù)<一)電荷等量的均勻的電中性狀態(tài),而使電荷過(guò)剩,物體呈帶電狀態(tài),由于這些電荷平時(shí)是不流動(dòng)的,故稱靜電。
在潔凈室內(nèi)靜電導(dǎo)致的事故有以下幾方面;
1.靜電電引起的靜電電擊,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷);
2.靜電放電引起的放電電流,可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動(dòng)作,例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi),搖晃數(shù)次后,與非門柵極嚴(yán)重?fù)舸┱哂?jì)39塊,失效率競(jìng)達(dá)78%,這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件對(duì)靜電放電十分靈敏;
3.靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動(dòng)作;
4.靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照像肢片等感光破壞;
5.靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞,紡紗線紛亂,印刷品深淺不均和制品污染;
6.靜電放電引起的最危險(xiǎn)的災(zāi)害是成為可燃物的火源井引起爆炸,例如國(guó)外文獻(xiàn)統(tǒng)計(jì),在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中,爆炸的36次,其中由靜電引起的達(dá)21次;
靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累,而氣流的流動(dòng),氣流和管道、風(fēng)口、過(guò)濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨,噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產(chǎn)生靜電,在一般情況下,越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體(絕緣體),由于電荷產(chǎn)生后不易流動(dòng),因此表現(xiàn)為越容易帶電。
靜電問(wèn)題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重,是因?yàn)椴坏跐崈羰抑芯邆淝笆霎a(chǎn)生靜電的多種工藝因素,而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電,在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前,這些材料料是被廣泛采用的。
控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。
主營(yíng)產(chǎn)品或服務(wù):
1、潔凈車間、潔凈廠房、凈化車間、凈化廠房、無(wú)塵室、凈化工程、潔凈工程、潔凈手術(shù)室、層流手術(shù)室、無(wú)塵廠房等潔凈室工程凈化設(shè)計(jì)、施工、調(diào)試、維護(hù)保養(yǎng)等;
2、10級(jí)到1000萬(wàn)級(jí)別的潔凈手術(shù)室、無(wú)塵無(wú)菌室、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室,整體實(shí)驗(yàn)室設(shè)備工程,食品車間凈化工程,LED顯示屏無(wú)塵車間,化妝品無(wú)塵室等;
3、企業(yè)、醫(yī)院、酒店、工廠、商場(chǎng)、辦公大樓空調(diào)工程,水電、配管、電力、消防、機(jī)電設(shè)備工程;
4、彩鋼板工程,各種防塵、抗靜電環(huán)氧樹脂地坪、防靜電PVC地板工程。
2、10級(jí)到1000萬(wàn)級(jí)別的潔凈手術(shù)室、無(wú)塵無(wú)菌室、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室,整體實(shí)驗(yàn)室設(shè)備工程,食品車間凈化工程,LED顯示屏無(wú)塵車間,化妝品無(wú)塵室等;
3、企業(yè)、醫(yī)院、酒店、工廠、商場(chǎng)、辦公大樓空調(diào)工程,水電、配管、電力、消防、機(jī)電設(shè)備工程;
4、彩鋼板工程,各種防塵、抗靜電環(huán)氧樹脂地坪、防靜電PVC地板工程。
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